54X工业检测显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜,其采用了优等的无限远校正光学系统,图像清晰,衬度好,是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发的,作为高级工业显微镜使用。
序号 | 名称 | 技术参数 |
1 | 平场目镜 | 大视野WF10XΦ25mm |
2 | 平场分划目镜 | WF10X/Φ20mm (0.1格值) |
3 | 无穷远长工作距离平场物镜 | (放大倍数/数值孔径/工作距离) PL5X/0.10/29.4、 PLL10X/0.25/16、PLL20X/0.40/10.6、PLL40X/0.60/5.4 |
4 | 总放大倍数 | 50X-400X |
5 | 三目观察头: | 30°倾斜 |
6 | 物镜转换器: | 五孔带DIC、明暗场插孔 |
7 | 粗微调调焦范围: | 30mm,粗微动同轴调焦, 微动格值0.002mm |
8 | 载物台: | 双层移动平台 尺寸350X310mm 移动范围: 250X250mm 玻璃平台:尺寸268×198mm 移动范围:250×250mm |
9 | 载物台移动: | 具有快速手推功能,可实现快速到位 |
10 | 偏光装置 | 检偏镜可360°转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路 |
11 | DIC、暗场装置(选配) | DIC、暗场插件均可移出光路 |
12 | 落射照明: | 亮度可调 卤钨灯泡 12V100W 落射照明器带视场光栏、孔径光栏 |
13 | 仪器重量 | 净重35kg 毛重40kg |
14 | 仪器尺寸 | 仪器尺寸40X50X47(cm) 包装尺寸59X49X53 (cm) |